ICP還可以作為原子化器，如以空心陰燈為光源，ICP為原子化器的原子熒光光譜儀.這類儀器不采用單色器，以ICP為中心，在周圍安裝多個檢測單元(每一元素配一個檢測單元),形成了多元素分析系統(tǒng).

電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀可以進行冶金礦業(yè)中雜質元素和主量元素的含量分析。

多電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀是領域無機分析能手，環(huán)境中大氣、水質、土壤和固廢污染物中無機元素分析； 食品藥品中營養(yǎng)元素和污染元素的定性定量分析；

電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀具有自主封裝技術的高速 CCD 數(shù)采系統(tǒng)，可以對紡織品、玩具、催化劑、石油等各種樣品進行無機元素分析。

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